半導體行業廢氣處理
半導體行（háng）業廢氣主要指的是（shì）電（diàn）解質（zhì）、矽、金屬、化學物質和有機物質等的廢氣。半（bàn）導體工藝廢氣中的電解質廢氣主要來源（yuán）於表麵處理過程的清洗工序，而矽、金屬和化學物質廢氣主要來源於製造（zào）工藝中的燒結、熔體澆注、清洗、蒸鍍和磷化等工序（xù）。有機物質廢氣主要來源於製造過程中使用的有機溶劑和有機物質的燃燒反應。
半導體廢氣處理方法
目前，半（bàn）導體行業有機（jī）廢氣處理方法主（zhǔ）要以下幾種方法：1、活性炭吸附法；2、燃燒法；3、化學法。酸堿性廢氣（qì）可以選（xuǎn）用洗滌塔、噴（pēn）淋塔、吸收塔。
活（huó）性炭吸（xī）附是利用活性（xìng）炭的吸附（fù）性質，通過接觸吸附，使廢氣中（zhōng）的有害物質與活性炭表麵（miàn）結合，從（cóng）而達到淨化廢氣的目的（de）。燃燒法是將廢氣中的有害物質（zhì）通過燃燒的方式（shì）銷毀，減少對環境的汙染。化學吸收是利用吸收劑的吸收性質，使廢氣中的有害物質與吸收劑發生化學反應或物理反應（yīng），使其轉化為無害物質，從而淨化廢氣。
目（mù）前，半導體行業廢氣排放（fàng）標（biāo）準（zhǔn）不同步，我國半導體（tǐ）行業廢（fèi）氣排（pái）放標準主要以《半導體工業大氣汙染物排放標準》為主，但是這個標準的主要適用對象（xiàng）是生產芯片的企業，而且（qiě）許多地區都有自己的排放（fàng）標準，所以（yǐ）最終需要參考當地環保要求。
隨著半導體行（háng）業的不斷進步，半導體行業（yè）的廢氣處理技術也在不斷發展。根據不同的工藝流程，廢（fèi）氣處理設（shè）備也會有（yǒu）所不同，不僅可以滿足環保排放標準，還能大大（dà）降低企（qǐ）業處理（lǐ）成本（běn）。
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