光電產品製造過程中VOCs的排放（fàng）

今天小編繼續為您介紹在光電產品（pǐn）製造行業中，產生廢氣汙染的主要有五類產品的製造過程:半導體集成電（diàn）路、TFT-LCD、LED、印製電路板(PCB)、電子終端產品。這幾個也是（shì）我們廢氣處理經常麵對的。

①半導體集成電路製造過程中VOCs的排放半導體製造（zào）工藝中VOCs主要來源（yuán）於光刻、顯影工序，在這些工序中要（yào）用（yòng）有機溶液(如異丙醇)對晶（jīng）片表麵進行清洗，其揮發產（chǎn）生的廢（fèi）氣是有機廢氣的來源之一。同時，在光刻過程中使用的光阻劑（jì）(光（guāng）刻膠)中含（hán）盡有易揮發的有機溶（róng）劑，如乙酸丁酯等，在晶片處理（lǐ）過程中產生的有機廢氣也要（yào）揮發到大術氣中。
   ②TFT-LCD製造過程中VOCs的排放包括檢査和測試在內，TFT-LCD的製造生產製工藝（yì）可達到100多道工（gōng）序，生產過程中（zhōng）使用多種化學有機溶劑和特殊氣體，產（chǎn）生的VOCc多量大，組分複雜。TFT液晶麵板生產排（pái）放VOCs汙染物（wù）的工序主要集中在陣列工（gōng）程（chéng）和彩膜時工程兩大部分。陣列工程中的光刻(塗膠、曝光和顯影)，以及彩膜工程中的黑色矩BM膜製造、彩（cǎi）色矩陣膜形成(紅、綠（lǜ）、藍，RGB)、保護膜生成、MVA膜、PS( Photo Spacer)膜生成是產生VOCs的主要產生（shēng）少量VOCs。TFT-LCD的製造（zào）過程中產生的VOCs主（zhǔ）要是以異丙醇為主，其次依序是丙酮、單甲基醚（mí）丙（bǐng）二醇、單甲基醚（mí）丙二醇乙酸酯（zhǐ），這四種成（chéng）分占了全部VOCs量的（de）90％以上。

③LED電子（zǐ）組件製造過（guò）程中VOCs的排放LED電子組件生（shēng）產產生的VOCs汙染物主（zhǔ）要來源於基片處理和光刻，LED生產過程中產生VOCs的種類主要有三氯（lǜ）乙烯、丙二醇（chún）醚酯（zhǐ）、異丙醇、丙酮、丁酮等。

④印製電路板(PCB)製造過程中VOCs的排放在單麵、雙麵和（hé）多麵印製電路板製作（zuò）工藝中，產（chǎn）生的VOCs工藝環節相對較集（jí）中（zhōng），主要來源於貼（tiē）膜、烘幹、江、印刷等工子，VOCs排放種類主要有甲醛、醇類(乙醇、異丙醇、丁醇（chún）、丙醇)、酮類(丁酮)、酯（zhǐ）類劑的貯存過程中也會（huì）有部分乙酸乙VOCs產生和排放。

⑤電子終端（duān）產品製造過程中VOCs的排放在電子終端產品製造中，VOCs的主要來源包括電路（lù）板清洗劑有機廢（fèi）氣(使用有機溶劑型清洗劑)、電路板三防噴漆廢（fèi）氣、機売(機箱)噴漆廢氣、機殼注塑廢氣。這些廢氣均來自工位上的（de）局部排風係統，特點是排風量大、濃度低。

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