電子廠廢氣處理方法——低溫等離子技（jì）術

電（diàn）子廠涉及到的（de）行業很多，不同行業在工藝上有一定差異，產生的廢氣（qì）種類也有一定的差異，今（jīn）天就從半導體行業入手為大家介紹（shào）電子廠廢氣處理。電子廠半導體廢氣（qì）的處（chù）理主要（yào）針對半導體行業（yè）有機廢氣（qì）和毒性氣體的（de）治（zhì）理，我（wǒ）們嚐試（shì）使（shǐ）用低溫等離子廢氣處理技術。半導體行（háng）業產生的（de）有（yǒu）機廢氣（qì），主要可以分為，半導體製造工藝產生的有機廢氣（qì），和半（bàn）導體封裝（zhuāng）工藝產生的有機（jī）廢氣。

1、廠家處理有（yǒu）機廢氣和毒氣的處理方法

現在，半導體製造過程中排放的含有有機成分的廢氣(voc)通常（cháng）采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進行處理。

2、針對電子廠廢氣處理半導體行業有機廢氣和毒性氣體（tǐ）的治理，低溫等離（lí）子廢氣處（chù）理技術的淨化原理是：

將普（pǔ）通的220V/380V交流電通過變壓器，變頻器轉換為高頻高壓的電壓，產生足以擊穿氣體的電壓（yā），釋放（fàng）出（chū）高能電子，高能電子破壞有機廢氣中的氣體分子之間的化學鍵，斷開（kāi）這些（xiē）化學鍵從而（ér）產生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體（tǐ），等離子體（tǐ）中的氧原子和碳原子結合形成二氧化碳，氧原子和氫原子（zǐ）結合形（xíng）成水分子，最終產生排放到（dào）大（dà）氣中的氣體為無汙染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。

3、電子廠廢氣處（chù）理低溫等離子廢氣處理技（jì）術具有以下（xià）優點：

• 放電（diàn）產生的低溫等離子（zǐ）體中，電子能量高，幾乎可以和所有的（de）惡臭氣體分（fèn）子作用。
• 反應快，不受氣速限（xiàn）製。
• 采（cǎi）用防腐蝕材料。
• 隻需用電，操作極為簡單（dān）。
• 設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，常溫常壓下即能使用。
• 氣（qì）阻小，適用於大風量（liàng）的廢（fèi）氣處理。

4、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技術應用領域：集成電路生產企業（yè）、分立器件生產企業、光（guāng）電組件生產企（qǐ）業。

5、半導（dǎo）體企業廢氣排放特征分析

半導（dǎo）體行業廢氣排放具（jù）有排（pái）氣量（liàng）大、排放濃度小的特點。

6、半導體（tǐ）行業有機（jī）廢氣和毒氣的來源（yuán）

• 半（bàn）導體製造工藝產（chǎn）生的揮發（fā）性有機廢氣，主要（yào）來源於光刻、顯影、刻蝕及擴散等（děng）工序
• 與半導（dǎo）體製（zhì）造工藝相比，半導體封裝工藝產生的有（yǒu）機廢氣較（jiào）為簡（jiǎn）單，主要為晶粒粘貼、封膠後烘烤過程產生（shēng）的烘烤廢氣。
• 含毒氣性（xìng）廢氣，其來源（yuán）為化學氣相（xiàng）沉積、幹蝕刻機、擴（kuò）散、離子布值機（jī）及磊晶等製程時所產生（shēng）。主要成分是磷化氫等。

電子廠廢氣處理半導體低溫等離子技術，在實際設計中，需要加洗滌塔作為（wéi）預處理裝置，來攔截粉塵和易溶性的酸堿廢氣。今天就為大家介（jiè）紹到這裏了（le），如果您想要了（le）解詳細的設計（jì）方案，可以打電話向我們谘詢：17306171723。