半導體行（háng）業VOCs廢氣處理解決方案

麻豆精品国产免费观看小編今天為大家分享半導體行業VOCs廢氣處理的解決方案。

半導體行業中（zhōng）使用的（de）清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含（hán）有（yǒu）大量（liàng）有機物成分。 在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。

     目前，針對這種氣體排放，一 般（bān）采用吸附、焚燒或兩（liǎng）者相結（jié）合的處（chù）理方法。 吸附是利用多孔性固體吸附劑處理（lǐ）混合氣體，使其（qí）中所含的一種或多種組分吸附於固體 表（biǎo）麵上，達到（dào）分離的目的。吸附劑選擇性高，能分開其他過程難以分開（kāi）的混合物，有效（xiào）地清 除（或（huò）回收）濃度（dù）很低的有害（hài）物質，淨化效率高，設備簡單，操作方便（biàn），且能實現自（zì）動控製。

但固體吸（xī）附劑（jì）的吸附容量小，需要大量的吸附劑，設備龐大，且吸附後吸附劑需要再生處（chù）理，是吸附處理（lǐ）的主要缺點。半導體生（shēng）產場所揮發出來的有機廢氣（qì）通過局部排風罩收集，經管道送至（zhì）吸附淨化（huà）係統。一般采用活性炭作為吸附劑。因（yīn）為活性炭是非極性吸附劑，對廢氣中水蒸氣的靈敏（mǐn）度不（bú）高，且（qiě）價格便宜。 焚燒的方法也廣泛用於半導體（tǐ）行業的各（gè）種有機廢氣處理，通（tōng）過熱氧化將（jiāng）有機物轉化為 CO2 和水。同時（shí），焚燒對處理穩定流量和濃度（dù）的廢氣也是一種很好的方法。在熱氧（yǎng）化中（zhōng），有機廢氣（qì）流經過加熱，氣相中的有（yǒu）機物被氧化。為節省燃料（liào）使用，通常還使用熱（rè）交換器，回收焚燒（shāo）產生的熱（rè）量對進口氣（qì）體進行預（yù）熱。對於處理大流量、低濃度的氣體（tǐ），通常都要采用這種方法。 由於（yú）半導體行業廢氣焚燒會產生SiO2，且SiO2會使催化劑鈍化（huà），因此半導體行業中很少（shǎo）采（cǎi）用接觸氧化的方法。

一些半導體生產廠（chǎng）也使用旋轉濃縮係統富集有機廢氣，如沸石濃縮轉輪。因為半導體（tǐ）工藝過（guò）程中（zhōng）有機廢氣具有排放流量大（通常大於（yú） 11039 m3 /小時）和濃度低（通常（cháng）小於 25ppmv） 的特（tè）點，使用其它的處理（lǐ）技術難以達（dá）到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉輪使用內帶吸收物質（zhì）的（de）旋轉輪，其中的吸收物質部分曝露（lù）於（yú）廢氣流（liú）中。轉輪吸收廢氣中的揮發性汙染物，並（bìng）使用蒸汽或熱將其脫附。脫附的氣流中富集了較高濃度的揮發物，這種低（dī）流量、高濃（nóng）度的氣流（liú）能很好地被氧化。旋轉濃（nóng）縮係統用於半導體行業的一個缺點是它對甲醇親和（hé）力較差，去除率僅為 40-60％。

     總而言之，廢氣處理方麵，半導體行業酸、堿廢氣一般采用相應的堿液吸收和酸液吸收進行處（chù）理， 工（gōng）藝方法已非常成熟，隻要適當優化相關工藝參數（shù），能夠滿足本標準的要求，需要關注的有 機廢氣（qì）的處理。目前處理有機廢氣的工（gōng）藝有吸附法、吸收法、直接燃（rán）燒法、催化燃燒法、冷凝法等，吸附法采用活性炭直接吸附，淨化效果好，但是（shì）運營成本會很高（gāo）；吸收法適合於（yú）溫度低、中高濃（nóng）度的廢氣；直接燃燒法適合於高濃度、小風量廢氣治理；冷凝法適（shì）用於成分相（xiàng） 對單一、濃度高、且有一定回收價值的有機廢氣。對於半導體行業低濃度、大風量、成分複雜的有機廢（fèi）氣，吸附（fù）法（fǎ）、吸收法、燃燒法、冷凝法均不適用，比較適用的是吸附——催化燃（rán）燒（shāo）法。目前省內一些大型半導體企業已采用沸石轉輪（lún）濃縮後燃燒，該方（fāng）法適用於（yú）大風量、低濃度、常溫的有機廢氣處理，淨化效率達到90％以上，濃縮比（bǐ）達（dá）20﹕1，運行（háng）費用（yòng）較低，設備處（chù）理風量大，占地麵積小，不產生二次汙染，可持續脫附並處理汙染物。根據企業實際運 行（háng）情況，有機廢氣進氣濃度在200mg/m3以上時，處理效率達到95%；200mg/m3以（yǐ）下時處理 後濃度控製在20mg/m3，可保證廢氣達標排（pái）放。

通過（guò）小編以上的介紹，您是否對半導（dǎo）體行業VOCs處理（lǐ）有了更深入的認識了呢，希望能幫助到您（nín）。如您想了解更多（duō）的廢氣處理相關知識，歡迎您關注麻豆精品国产免费观看環保。

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