半導體廢氣處理
一、半導廢氣處理成份
半導體行業廢氣主要（yào）成分為有機廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類成分：非甲烷總（zǒng）烴、氮氧化（huà）物、二氧化（huà）硫等，酸堿類成（chéng）分：氨氣、硫（liú）酸霧、氟化物、氯化物、氯（lǜ）氣等。
二、行業排放標準
三、半（bàn）導體廢氣處理方法
一般半導體行業針對廢氣處理的解決方案如下：
(1)預處理階段：采（cǎi）用噴淋塔先對廢進行預處理，去除粉塵以及易溶於水的有害（hài）氣（qì）體。
(2)主要處理（lǐ）階段：在（zài）此階段，比較（jiào）常見而有效方法（fǎ）有：UV光解，生物過濾分解，焚燒和催（cuī）化（huà）燃燒等。
由於每家企業具（jù）體產生（shēng）的廢氣成分、風量大小、廢氣濃度不同，所以（yǐ）采用的半導體廢氣處理方法也會不同或者需要多種方法結合使用，具體處理方案可以谘詢我們，我們將有工（gōng）程（chéng）師一（yī）對一（yī）為您定製廢氣處理方案。
下一篇：已經是最後一篇了（le）
上（shàng）一篇：實（shí）驗室廢氣處理設備
掃一掃 進入手機站